Acquisition de cellules d’évaporation/d’effusion pour réacteurs d’épitaxie par jets moléculaires
description Objet du marché
La présente consultation concerne l’acquisition de cellules d’évaporation et d’effusion pour les installer sur ces réacteurs EJM, de façon à augmenter leurs performances et à atteindre un contrôle inégalé des croissances épitaxiales.
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view_agenda Allotissement (2 lots)
01 Cellules d'évaporation "Cracker à vanne" pour arsenic et antimoine Actif expand_more
Ce lot comporte deux (2) cellules d’évaporation destinées à sublimer et à craquer l’arsenic (As) et l’antimoine (Sb).
02 Cellules d’effusion pour éléments III Actif expand_more
Ce lot comporte une (1) cellule d’effusion destinée à vaporiser les éléments III tels que le gallium (Ga) ou l’indium (In), pouvant être installées sur des brides CF100.
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