Acquisition et installation d'un équipement de profilométrie optique confocal laser à haute résolution en Z
description Objet du marché
L’acquisition d’un profilomètre optique confocal laser à haute résolution en z permettra au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM) de combler un manque d’outils de métrologie optique pour permettre de faire du contrôle dimensionnel rapide et résolu sur les futurs microstructures 3D qui sont envisagées pour les composants du futur. Le nouvel équipement doit ainsi permettre la reconstruction 3D de profils de dimensions latérales micrométrique et de dimensions verticales sub micrométriques et micrométriques, avec une haute résolution en z (sub 20 nm à fort grossissement) ainsi que de mesurer de la nano topographie et de la rugosité sub 100mm par interférométrie sur de grands champs.
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