Lot n°01
Fournitures
Equipement de dépôt LPCVD
Acheteur
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COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Code CPV
tag
31712100 — Machines et appareils microélectroniques
Durée
schedule
12 mois
description Description
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical.
Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
location_on Lieu d'exécution
Code NUTS : FRK24
Pays : FRA
schedule Durée
12 mois