Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être équipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ.
Le présent marché comporte l'option obligatoire suivante :
- Option n°1 : Prolongation de la garantie d’une année supplémentaire.
Le présent marché les options facultatives suivantes :
- Option n°2 : Fourniture d’un capteur de résidus (§3.1 du cahier des charges),
- Option n°3 : Fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur (§3.2.6 du cahier des charges),
- Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique (§4.1.3 du cahier des charges),
- Option n°5 : Formation de maintenance 1er niveau (§9 du cahier des charges),
- Option n°6 : Formation de maintenance avancée (§9 du cahier des charges),
- Option n°7 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).