Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm

Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir.
L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin.
Le marché comporte :
• Des options avec chiffrage obligatoire :
o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux
o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium
o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement
• Des options avec chiffrage facultatif :
o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges
o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges
o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges