Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

Dans le cadre de ses activités de recherche et de développement de partenariats, le CEA LETI souhaite acquérir un système d’inspection optique dédié aux plaquettes non structurées, capable d’inspecter des plaquettes de 100 mm, 150 mm et 200 mm (dit « outil pont »), afin de remplacer les anciens systèmes utilisés jusqu’à présent. L’outil sélectionné doit être capable d’inspecter des substrats fins et épais.
Ce système sera utilisé pour la qualification des procédés en salle blanche à différentes étapes du processus (tant que les substrats ne sont pas structurés) ; il doit pouvoir traiter des substrats exotiques et être capable d’inspecter et, à la demande de l’utilisateur, de collecter des images des défauts (acquisition d’images au microscope).
Le marché envisagé comprend :
- Un équipement de base ;
- L'option à chiffrage obligatoire suivant :
o OPT1 : Extension d’une année supplémentaire de la garantie
- Ainsi que les options à chiffrage facultatif suivantes :
o OPT2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs
o OPT3 : Transformateur
o OPT4 : Formation Maintenance 1er niveau
o OPT5 : Formation Maintenance Avancée
o Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)