Fourniture, livraison, installation et mise en service d'un bâti de dépôt de Parylène.

Les prestations comprennent la fourniture, la livraison et l'installation d’un bâti de dépôt de parylène ainsi que la formation à l'utilisation de ce dernier.
Le bâti devra comporter tous les éléments nécessaires au dépôt de parylène sans nécessité d'ajouter quoi que ce soit pour son bon fonctionnement :
- sublimation du précurseur,
- pyrolyse de la vapeur du précurseur,
- dépôt dans une enceinte avec porte substrat refroidi,
- système de refroidissement,
- système de pompage,
- porte substrat tournant, refroidi par un groupe froid électrique.
De manière à pouvoir faire varier la nature des polymères déposés, le bâti devra permettre de vaporiser a minima du parylène de type N & C.