FOURNITURE, LIVRAISON, INSTALLATION, MISE EN SERVICE ET FORMATION À L’UTILISATION D’UN SYSTEME DE LITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE
description Description
FOURNITURE, LIVRAISON, INSTALLATION, MISE EN SERVICE ET FORMATION À L’UTILISATION D’UN SYSTEME DE LITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE
location_on Lieu d'exécution
Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg – UMR 7504 23 rue du Lœss BP43 67034 Strasbourg
Strasbourg 67034
Code NUTS : FRF11
Pays : FRA
schedule Durée
18 mois
info Informations générales
Le marché comporte 1 prestation supplémentaire éventuelle (PSE) à chiffrage obligatoire et 4 prestations supplémentaires éventuelles (PSE) à chiffrage facultatif: - PSE n°1 (obligatoire) : Extension de la maintenance et de la garantie pour 24 mois supplémentaires (soit un total de 36 mois) ; - PSE n° 2 (facultative) : Générateur de motif ultrarapide (version « upgradée » par rapport à la solution de base) ; - PSE n° 3 (facultative) : Fourniture, livraison, installation et mise en service d’un détecteur supplémentaires maintenance et garantie incluses ; - PSE n°4 (facultative) : Reprise de l'ancien système de lithographie Zeiss Supra 40 ; - PSE n° 5 (facultative) : Mise en place d’un système de correction des effets de proximité devant proposer une correction de la dose d’exposition en fonction du design soumis Le choix de retenir ou non la PSE se fera uniquement à la notification du marché au titulaire.