Suite à l’achat d’un nouvel équipement PVD/CVD/ALD, le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition de 2 systèmes d’abattements (scrubbers). Le fournisseur de ces systèmes d’abattements (scrubbers) devra : - Livrer les systèmes d’abattements (scrubbers) ainsi que leurs accessoires (Raccords, télécommande, …). La livraison est souhaitée le 01/07/2026. - Installer les systèmes d’abattements (scrubbers). - Démarrer les systèmes d’abattements (scrubbers) et vérifier leurs performances. - Faire l’...
description Objet du marché
Suite à l’achat d’un nouvel équipement PVD/CVD/ALD, le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition de 2 systèmes d’abattements (scrubbers).
Le fournisseur de ces systèmes d’abattements (scrubbers) devra :
- Livrer les systèmes d’abattements (scrubbers) ainsi que leurs accessoires (Raccords, télécommande, …). La livraison est souhaitée le 01/07/2026.
- Installer les systèmes d’abattements (scrubbers).
- Démarrer les systèmes d’abattements (scrubbers) et vérifier leurs performances.
- Faire l’étude, la réalisation, la fourniture du boitier et ses câbles ainsi que le test de l’interfaçage avec l’équipement END300F de la société Applied Materials.
(Démarrage/arrêt, mise en idle du scrubber si nécessaire, remontée d’alarme sur équipement avec coupure gaz équipement, …).
- Fournir un rapport de démarrage (configuration, paramètres, tests, …).
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