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En cours Procédure négociée Réf: 460488-2026

Fourniture d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL pour le CEA Grenoble

description Objet du marché

Le CEA de Grenoble souhaite se fournir d'un banc humide à solvant pour le décapage BEOL

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engineering Résumé IA du CCTP 2 crédits

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view_agenda Allotissement (1 lots)

01 Fourniture d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL pour le CEA Grenoble Actif expand_more
Code CPV
tag 39181000 — Paillasses de laboratoire
schedule Durée : 12 mois
location_on Grenoble

Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL.
Le marché comporte également :
- Des options à chiffrage obligatoire :
o Option 1 : Un capteur de particules pour bacs solvants ;
o Option 2 : Un bac dédié à l’Acide Fluorhydrique (HF) ;
o Option 3 : Un réservoir de refroidissement.
- Des options à chiffrage facultatifs :
o Option 4 : Des échange…

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