Fourniture d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL pour le CEA Grenoble
description Objet du marché
Le CEA de Grenoble souhaite se fournir d'un banc humide à solvant pour le décapage BEOL
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01 Fourniture d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL pour le CEA Grenoble Actif expand_more
Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL.
Le marché comporte également :
- Des options à chiffrage obligatoire :
o Option 1 : Un capteur de particules pour bacs solvants ;
o Option 2 : Un bac dédié à l’Acide Fluorhydrique (HF) ;
o Option 3 : Un réservoir de refroidissement.
- Des options à chiffrage facultatifs :
o Option 4 : Des échange…
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