Fourniture d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL pour le CEA Grenoble

Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL.
Le marché comporte également :
- Des options à chiffrage obligatoire :
o Option 1 : Un capteur de particules pour bacs solvants ;
o Option 2 : Un bac dédié à l’Acide Fluorhydrique (HF) ;
o Option 3 : Un réservoir de refroidissement.
- Des options à chiffrage facultatifs :
o Option 4 : Des échangeurs de chaleur et de refroidissement ;
o Option 5 : Formation Maintenance de Niveau 1 ;
o Option 6 : Formation Maintenance avancée ;
o Option 7 : Une extension de garantie d’un (1) an ;
o Option 8 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).